3150高真空炉封装采用非常低的真空和湿度水平密封,以延长长期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高达 500°C(可选 1000°C)的温度。洁净室兼容系统还可配置为允许盖子和封装的原位分离、吸气剂烧制和MEMS封装的密封。使用涡轮分子阻力泵来有效泵送氢气分子。对于需要很低水平残留水蒸气的工艺,可以将可选的低温水泵添加到系统中。
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