SS 316L结构
10 µin.表面处理(25 µin.可选)
真空至3500 psig(241 bar)入口
1至300 psig(0.07至21 bar)出口
清洗,组装和包装用于高纯度半导体应用
流量
-标准至30 slpm
-HF选项为120 slpm
使用点应用的首选调节器
旋钮LOTO
传输压力:5至150 psig(0.34至10 bar)
耐压:工作压力的150%
爆破压力:工作压力的300%
流量系数(Cv):0.09(可选0.15 HF)
内部容积:0.49 in3(8 cm3)
端口:2口对接焊
阀体,喷嘴:SS 316L
隔膜:SS 316L
涂层:电抛光和钝化
阀座:PCTFE(可选聚酰亚胺和PTFE)
入口/出口连接:1/4英寸面密封,母接头
舷内泄漏:2 x 10-10 sccs
舷外泄漏:2 x 10-9 sccs He
座椅泄漏:4 x 10-8 sccs
安装面或面板(可选)
工作温度:-40°至+ 160°F(-40°至+ 71°C)
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